TEL CLEAN TRACK ACT 8
- Wafers de 150-200mm
- Cubridores Apilados y reveladores
- Siete módulos termales apilados
- Confiabilidad comprobada y proceso de
estabilidad para I-Line, y procesos de 248nm y
193nm.
El sistema TEL CLEAN TRACK ACT 8 es un producto
compacto de alto rendimiento de procesamiento con
una base instalada en las miles de máquinas.