Serie 88e

Disponible como: Nuevos y Remanufacturados

El Sistema de Pista 88e Rite Track, un diseño nuevo de Rite Track basados en la plataforma probada de la Serie 88, ha sido desarrollado significamente. Este nuevo sistema ha sido realzado para procesar sustratos de 200mm con control mejorado de contaminacion, confiabilidad, y control de proceso.

El sistema Rite Track 88e tiene capabilidades de procesar 0.35µ en substratos de 100mm a 200mm.

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Proceso rentable de 200mm
El Sistema es un Nuevo diseño de Pista Rite Track 88e. El Sistema de Pista Rite Track 88e mejora el sistema probado serie 88 alcanzando la demanda de proceso requerrido de 200mm a la misma ves manteniendo reparos faciles y cambios rapidos de tamaños 100mm a 200mm.

Todos los modulos 88e son re-diseñados, no solo "un paso mas", para asegurar funcionamiento optimo en 200mm.

 

 

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Sub Medio Control de Proceso
El Sistema de Pista Rite Track 88e incorpora un sistema mejorado de envio HMDS para maximizar adhesion resistente. Vasos de agarre aerodinamicos mejoran uniformidad en capas y minimiza contaminacion aerea. Todos los platos calientes y platos frios son especialmente disenados para mejorar regulacion, eficiencia y uniformidad, resultando en mejor orneo y enfrio de wafer-a-wafer repetidamente en procesos criticos.

El Sistema de Pista Rite Track 88e ofrece proceso mundial de clase para capacidad de capas, orneo, y desarrollo a un precio comprable. Proceso tipico de funcionamiento excede los requicitos de control para 0.35 micron geometrias.

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Costo mas bajo de propiedad
Mejorando el proceso total es parte de la historia. El Sistema de Pista Rite Track 88e es especificamente disenado para eliminar el alto costo para procesar 200mm. Sistemas ofrecidos pueden ser enviados a una fraccion del costo de substratos de 200mm, herramientas para procesar 0.35 micro. El Sistema de Pista Rite Track 88e tambien mantiene alto rendimiento de procesamiento con reducido tiempo de manejo de wafer y modulos de arriba.

 

 

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OEM Integrados
Rite Track se ha socializado con los mejores OEM, incluyendo bombas avanzadas y fabricantes ambientales del recinto. Integracion de sistemas de control de humedad y temperatura y las bombas fotoresistentes mas avanzadas permite funcionamiento de capas mucho mejor que las herramientas en su clase. OEM, incluyen Mykrolis, IDI, Integrated Flow Systems, Semifab, Watlow, y SMCUSA.