TEL MARK シリーズ<

TEL クリーントラックMARK Vz
- 3"-150mm 基板
- シングルウェイファー/ロットコントロール
- 重層ホットプレート
- 無真空ツインアームトランスファー
- 使いやすく、メニューに沿ったオペレーターインターフェイス

TELクリーントラックMARK Vz は2層プレート構造を持ち、同レベルの装置よりも占有スペースが少なくなっています。この装置は、ガリウム砒素(GaAs) などの壊れやすい材質のウェハーにも最適です。

TEL クリーントラック MARK 7/8
- 125-200mm基板
- シングルウェイファー/ロットコントロール
- 無真空トリプルアームトランスファー
- 4積層ホットプレート
- SECS I/II, GEM 互換性あり

TELクリーントラックMARK 7/8 は、同様の装置に比べ、トリプルアームトランスファーによる圧倒的な処理量をもちます。4層プレート構造によって、処理管理向上すると同時に占有スペースを減らしています。 化学薬品の使用を減らすことで、CoOの最も低い装置です。