
(オプション:レシピマネージャーのタッチパネルフラットスクリーンスペース=モニター取り付けスペースの節約)
ライトトラックのホスト・コミュニケーション・インターフェースはSECSIIプロトコルと、ライトトラック・レシピマネジャー®(RTRM)を使用し、ユーザー指定のイベントとアラームをホストコンピューターへ送ります。
特徴 |
利点 |
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レシピデザイン機能は、ユーザーがデザイン、編集、プログラムの保存をすることを可能にし、スピナー、ホットプレート、ディスペンスアームへCPUボードをオプションとしてつけることも可能にしました。 |
カードケージからそしてカードケージへのアップロードとダウンロードが素早くできるようになりました。 無数のレシピ保存がアルファベット順にできるようになりました。 以前保存されたプログラムや装置オプションと共にカードケージの再実装にに伴うCPUボードの取替えにかかる時間の節約ができます。 |

(レシピデザインスクリーンは、4つのカードケージシステムとコーター・ホットプレートのプログラム及びオプションを表示します。)
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ローカルログ機能は、データーをコンピューターに取り込み、タイムスタンプを可能にしています。
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カードケージアラームのようなモニターアラームとは、いつ発生して、いつ解除になったか。 カセット有無やウェイファー枚数といったモニターイベントとは、何個のカセットや何枚のウェイファーが処理されたか。 ホットプレート温度などのモニターデーターとは、徐々に温度を一定にする。 |

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Graphic User Interface(GUI)機能は、お客様の仕様に合わせたスクリーンで、トラックのステータス表示やオペレーターの情報をインプット可能にしています。 |
オペレーターのインタフェースをカードケージからタッチスクリーンへ オペレーターへのモジュール処理、レシピ選択、アラーム状態やイベントステータスのビジュアルフィードバック オペレーターがレシピ選択、ID、処理ノートなどを入力可能 |

(トラック状態表示、ウェイファーカウント、インデクサーカセットの有無、STARTボタンなどをスクリーンで表示)
オプション機能 |
利点 |
| ホストコミュニケーション オプションは、SECSIIプロトコルを使用し、ユーザー仕様のアラームとイベントを工場のホストコンピューターへ送ります | ホストシステムがレシピ選択、レポート作成、その他の決定や返答のシナリオをを補佐 |
| データー I/O モジュール は、デジタル、アナログ、そしてシリアル入力をモニターします | キャニスター低レベルアラーム、ボトルセンサー、高性能軸コントローラーといったカードケージをモニターするのではなく、周辺装置シグナルのモニターとログを取る |
| ライト・タワー・インターフェース は、データーI/Oモジュールを使用して、最大4ライトタワーを中継します | 赤、黄、緑のライトでトラック状態の表示 |
| バーコードスキャナー はバーコード・ロット・トラベラーからレシピを選択可能です | バーコード読み取り機でレシピ選択をすることで、オペレーターのマニュアル入力によるミスを防ぐ |
| 省スペースモニター取り付け は、間接アームにレシピマネージャーのタッチスクリーンとキーボードを取り付けます | 工場スペースの節約 |