改造用キット

コーターピボットディスペンス

コーター底部、上部EBR

コーターキャッチアップリンス

ホットプレート用改良ステッパーモーターコントロール付き3ピンアップグレードキット

Proximity Hot Plate Retrofit Kit

ハイトルクインデクサー

86シリーズ及び88シリーズのセンタリング、アップグレード版

ホットプレート、ベーパープライム、真空オーブンの温度コントローラー (Watlow製）

インデクサー用、容量性ウェイファーセンサーキット

重量基板アップグレード（全てのモジュール対応）

コーター、ディベロッパー用、排気流動コントローラー

液浸循環

排水口満水センサー

温度コントロールカート

引き出し

プレッシャーキャニスター

新しいフォトレジストポンプ

再構築されたフォトレジストポンプ

キャッチカップ

サブミクロン・アップグレードキット

サイズ変更キット

プルアウトドレインボックス

ケミカルキャビネット