ARDiMuS™

Advanced Recipe and Data Management System

ARDiMuS™ は、現在お持ちのマークシリーズの寿命を延ばし、柔軟性、機能性を追及したデーターとレシピマネージャーの拡張機能です。ウェーハーフローをドラッグアンドドロップ、スクリーンでのホットプレートのデータープロファイリング、管理機能だけでも価値があります。

The ARDiMuS™ はマークシリーズのシステムへ自動 構成します。The ARDiMuS™ は、実用性の強化を提供し、それには上級レシピコントロール、、パスワードプロテクトスクリーン、 データーのモニタリングと分析などが含まれます。また、コンピューターインターフェース、人為的なミスを防ぐためのバーコードリーダー、マークシリーズでは通常モニタリングされないような、外部への信号モニタリングなどがオプションに含まれます。

主な機能:

オプション: