88e シリーズ

販売: 新品・再製品

ライトトラック88e装置シリーズは、88シリーズを元にしたライトトラックの新デザインで、かなり展開されたものです。この装置では、200mmの ウェイファー製造が可能、改良された汚染コントローラーと製造コントローラーがついています。

ライトトラック88e装置は、100mmから200mmのウェイファーで0.35µ製造が可能です。

---

コストに優しい 200mm 製造
ライトトラック88e装置シリーズは全てライトトラックの最新デザインです。修理の簡素化、100mmから200mmへの素早いサイズ変更及び200mm製造の要求を満たすことで改良を重ねてきました。

全ての88eモジュールは再デザイン（スケールアップだけではない）され、200mmにおける最適の性能をお約束しています。

 

---

サブ・ハーフ・マイクロン処理コントロール
ライトトラックの88eトラック装置は、改良されたHMDSデリバリー方式を組み込み、粘着液への抵抗を最大にしています。空気力学的に模範となるキャッチカップは、コーティングの均一性を高め、空気汚染を最小限に防ぎます。ホットプレートとクールプレートは全て、処理されるウェイファー全てがベイク、冷却のを難易度の高い環境の中で繰り返せるよう、規定、能率、均一性の向上のために特別にデザインされています。

ライトトラック88トラック装置は、コート、ベイク、ディベロップにおいて、世界クラスの処理能力をお求め安い値段でご提供しています。典型的な処理性能は、0.35ミクロン測定のコントロール要求を超過します。

---

低コストの所有権
処理全体の性能を向上するのは話の一部に過ぎません。ライトトラック88eシリーズ装置は、200mmウェイファーの処理にかかる高いコストを無くすための特別デザインがされています。フル装備の装置は、同様の200mmウェイファー、0.35ミクロン処理装置に比べて相当なコスト削減を期待していただけます。また、ライトトラック88eトラック装置は、ウェイファー処理時間とモジュール処理時間を短縮することで高い処理量を維持します。

 

 

---

OEMの統合
ライトトラックは、最先端のポンプや環境重視した製造設備を持つ優秀なOEMと提携しています。最新式の温湿コントロールシステムや高度なフォトレジストポンプの集結は、同様の装置を超越するコーティング性能となります。 ここで述べるOEMは、Mykrolis, IDI, Integrated Flow Systems, Semifab, Watlow, SMCUSA 等を含みます。