88 シリーズ

販売: 新品・再製品

フル仕様の88シリーズはサブミクロン製造に最適です。88装置は全て3"から150mmのウェイファーを処理可能です。ウェイファーサイズ変更は大変シンプルで、数時間ではなく、数分で可能です。シリコン（Silicon）、ガリウム砒素（GaAs）、サファイア（sapphire）、Gallium and Gadolinium（GGG）、リチウムニオブ酸塩（Lithium Niobate）、 薄膜ヘッド（thin film heads）を含むさまざまなウェイファーが86シリーズで製造されています。

88シリーズは高性能インラインロボットトランスファーアームをそれぞれのモジュール間で使用しています。ソフトベイクと冷却間のような危険を伴う移動の場合、完全ランダムロボットシステムに比べてもっと容易にコントロールが可能です。88シリーズはセラミックトランスファーアーム、トランスファー中の基板エッジハンドルやパッドつきのトランスファーアームを含む高性能な移動機能をご用意できます。