86 シリーズ

販売: 新品・再製品

全ての86シリーズは、2"から150mmのウェイファーの製造可能です。ウェイファーサイズの変更は数時間ではなく、数分で可能なようにシンプルな作りとなっています。シリコン（Silicon）、ガリウム砒素（GaAs）、サファイア（sapphire）、Gallium and Gadolinium（GGG）、リチウムニオブ酸塩（Lithium Niobate）、 薄膜ヘッド（thin film heads）を含むさまざまなウェイファーが86シリーズで製造されています。また、86シリーズでは側面125mmまで（対角180ｍｍ）の方形 基板を製造することもできます。

86シリーズではシンプルで柔軟なベルトトランスファーシステムで、ウェイファーの破損を抑えています。このベルトシステムでは、トランスファー処理時間短縮ができ、高い処理能力を期待していただけます。