製品

トラック装置

TEL CLEAN TRACK ACT 8 - ライトトラックの新製品がTEL Clean Track ACT8です。純正認定装置、中古、再生装置をご用意しております。

TEL MARK シリーズ< - ライトトラックは、純正認定TELクリーントラックMark Vz、７/８装置の北米とヨーロッパでの販売をTELから許可された唯一の業社です。

90-S/SE シリーズ - 90-S/SEトラックは、8Xシリーズ装置に比べて情報処理能力が高く、機械的な処理装置です。90-S/SEは、高性能Multipath™ トランスファーアルゴリズムと重層構造になったホット/冷却モジュールでお客様のご指定のアプリケーションに最高の情報処理能力をご提供します。

88e シリーズ - 88eは、大変好評だった88シリーズ装置を元に200mmウェイファーの処理を可能にしたものです。「バージョンアップ」しただけではなく、ホット/冷却ユニット及びスピナーをさらに大きい ウェハーの最適処理ができるようにデザイン変更しました。88eは、200mmウェイファー処理を必要とする工場を対象としていますが、高価な代替品購入の予算は必要としません。加えて、既に8X装置をお持ちの場合は、88eへの変更は容易にできます。

88 シリーズ - ロボット操縦のインライン処理が必要であれば、88装置がお勧めです。88シリーズには86シリーズの機能が全て備わっており、そのいくつかの機能は改良されて、ロボット操縦のみに利用できます。ライトトラックでは、特に壊れやすい ウェハーの処理のための改造を加えました。

86 シリーズ - 86シリーズトラック装置の耐用性は、半導体産業に徐々に認められてきていますが、MEMS、薄膜ヘッド、太陽電池産業に新たな活躍の場を見出しています。ライトトラックは、サブミクロン処理可能でオプション機能が追加できるようにアップグレードしました。86シリーズは、同レベルの装置の中で、最も信頼の置け、高処理量を誇ります。86シリーズは、市場に出ている装置の中でも珍しい、正方形及び長方形の ウェハー処理が可能です。

ソフトウェア

レシピマネージャー - ライトトラックのレシピマネージャーRecipe Manager® System (RTRM) は、ライトトラック8Xシリーズ装置及び現存の8X装置へ、Windows®ベースのシンプルなインターフェースでのプログラムの入力、保存を可能にします。

ホスト・コミュニケーション・インターフェース - ライトトラックのホスト・コミュニケーション・インターフェースは、SECSIIプロトコルを使用し、ライトトラックレシピマネージャーRecipe Manager® が、お客様が指定したイベントとアラームをホストコンピューターへ送ります。

ARDiMuS™ - ARDiMuS™ (Advanced Recipe and Data Management System)は、TELマーク装置用のレシピ、データーレコーディング、プロセスデーター採取、また、マークVz、７、8装置においてはユーザーインターフェース機能をさらに充実することができます。

Kits and Parts

改造用キット - ライトトラックでは8X及び９X装置のための改造用及びアップグレード用のキットを幅広くご用意しています。世界中に広がるお客様のため、ASML社の8X、９X商品と提携することで、業界経験とお客様からのご要望に基づいて新商品を絶えず提供することが可能になりました。こちらから最新商品をご確認ください。

代替パーツ - ライトトラックは、８Xと９Xの代替パーツの世界で一番大きいサプライヤーです。送品の多くは新品と全く同じ性能の中古品を提供することができるため、お客様のコストセービングに役立っています。中古品に関しては、在庫がある場合のみ販売可能となります。