TEL CLEAN TRACK MARK 系列

CLEAN TRACK MARK Vz
 - 适用于直径为3" 到150mm 的衬底材料
 - 单片圆片/整批控制
 - 层叠的热板（两层）
 - 非真空的双机械臂圆片传输系统
 - 友好的，菜单式操作界面

TEL 的 CLEAN TRACK MARK Vz 系列轨道采用双层热板，这样，使得整台机器的占地面积比同类其他机器减少。它非常适用于所有各种衬底材料,包括砷化镓和其他一些易碎的材料。

TEL CLEAN TRACK MARK 7/8
 - 用于直径为125mm 到150mm 的衬底材料
 - 单片圆片/整批控制
 - 非真空的三机械臂圆片传输系统
 - 层叠的热板（四层）
 - 可兼容SECS I/II, GEM

三机械臂圆片传输使得TEL 的CLEAN TRACK MARK 7/8比其它轨道的产能更高。最多可为四层的热板，在保证工艺精度的同时，使得占地面积更小。另外，较少的化学品的消耗量使得该机器成为运行成本(COO)最小的轨道系统。