8655 Rite Track WayWest Chester, Ohio 45069
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TEL CLEAN TRACK ACT 8
可选购: 经认证的转手或翻新设备
- 150-200mm 圆片
- 层叠的涂胶、显影模块
- 多达7层的热处理模块
- 被证实的高可靠性，以及能适用于I线，248纳米，和193纳米的工艺能力
TEL公司制造的CLEAN TRACK ACT 8 是一种结构紧凑，产能很高的轨道系统。目前在全球已经有数以千计的这一轨道系统已经被安装和使用。