水循环器的维修

高超的水循环器维修能力(包括SMC Thermo-con 和 Komatsu)
使用新的OEM的备件或同等质量的备件
维修后达到原来OEM的规格和参数
在满负载情况下测试达到原技术要求

减少光刻胶用量组件

在涂胶前，使用溶剂对硅片进行预湿处理
根据程序，将溶剂滴到圆片的中心
适用于任何一种胶泵(不需要RRC泵和控制器)
可适用于Mark V, Vz, 7/8

硅硬盘（Silicon Disk）更换

FC-9821 Ke & Ka 控制器中的硅硬盘(Silicon Disk)的更换
FC-9801 X & F 控制器中的硅硬盘(Silicon Disk)的更换
闪存技术使得我们不再需要用电池来确保文件不被丢失

WEE 单元的翻新

请期待不久的将来...

圆片尺寸的自动变换组件

两种圆片尺寸之间的自动变换
批与批，片与片之间圆片如有尺寸变化不需要做任何调整(最大直径变化为9mm)
现有的自动更换组件:

100mm to 109mm
如有其它的尺寸需要，请和我们联系

化学品柜

可根据需要重新配置的化学品柜–新的或重新制造的
由可编程逻辑控制器(PLC)来控制，彩色触摸屏
• 光刻胶瓶/NowPak切换和集中供液系统（HMDS/溶剂/显影液选件）

旋转单元的改造或增加

在现有设备上增加旋转模块(spin units) 以提高产量
增加/更改热处理单元(Thermal units)来提高质量
增加或更改胶泵来满足你对现在的光刻胶的需要

在尾端增加热处理单元

在设备尾端增加热板/热板或热板/冷板单元–在与C/S相反的一端
冷板电源的内部整合包装
可适用于3”, 4’’, 5’’, 6’’圆片

注射式滴胶

容量为55cc的氮气挤压注射式滴胶
压力/时间可控
由最多为四个滴胶控制信号中的一个信号来控制

双面工艺处理

翻转圆片能力, 边缘接触式吸盘, 和边缘接触式热板

在开放的热处理单元处增加一个翻转圆片的装置将圆片翻转，对圆片背面进行热处理。

仅和圆片背面在离边缘3-4mm的地方接触
新的热板加热部件和顶针式上下机构
可适用于6’’ 和 8’’ 圆片

气动的边缘抓紧式吸盘
利用圆片定位边，定位凹槽定位
可适用于6’’ 和 8’’ 圆片