SVG9X 组件

Rite Track 是SVG 9X 系列轨道的知识产权，包括软件的唯一所有者。所以Rite Track 是唯一的可以提供经认证的，符合OEM标准的升级和改进组件的供应商。以下是部分Rite Track可以提供的用于SVG 9x系列的组件：

	90-SE 匀胶机主轴组件主轴重量减少20% “浮动”的丝杆螺母防止卡住增加防螺母跟转机构以提高可靠性能够自我对准的高级滚珠轴承吸盘真空使用快速接头-可以方便维护仅适用于90-SE
涂胶显影分配臂改良套件 x 和z方向由高精度直线导轨代替原来的导轨改进马达引线组
	涂胶滴胶头的改良组件可单独更换的滴胶头模具制造部件代替机械加工的部件更容易更换，合理的价格
光刻胶滴胶头更换组件将原来的99-45456-02滴胶臂升级为可以接受模具制造的滴胶头的手臂.
	主机械臂的改良组件增加限位开关，因此可以确定位置开关①和位置开关②之间的步数增加的第二个开关可以使得主手臂在正常运行的同时可以进行自我校准
硅片传输被动校准组件可适用于所有的热板和冷板适用于6’’和8’’圆片最大可校准范围：冷板为9mm，热板为6mm
	显影液/去离子水分配臂改良件(Eclipse) 最多可节约50%的显影液和去离子水. 改进漂洗机构减少缺陷数目. 和双束流相比，改善了8’’圆片边缘的漂洗质量提高了显影速率的均匀性最多可减少23%的显影时间 6’’、8’’ 圆片

	90-SE 匀胶机主轴组件主轴重量减少20% “浮动”的丝杆螺母防止卡住增加防螺母跟转机构以提高可靠性能够自我对准的高级滚珠轴承吸盘真空使用快速接头-可以方便维护仅适用于90-SE
涂胶显影分配臂改良套件 x 和z方向由高精度直线导轨代替原来的导轨改进马达引线组
	涂胶滴胶头的改良组件可单独更换的滴胶头模具制造部件代替机械加工的部件更容易更换，合理的价格
光刻胶滴胶头更换组件将原来的99-45456-02滴胶臂升级为可以接受模具制造的滴胶头的手臂.
	主机械臂的改良组件增加限位开关，因此可以确定位置开关①和位置开关②之间的步数增加的第二个开关可以使得主手臂在正常运行的同时可以进行自我校准
硅片传输被动校准组件可适用于所有的热板和冷板适用于6’’和8’’圆片最大可校准范围：冷板为9mm，热板为6mm
	显影液/去离子水分配臂改良件(Eclipse) 最多可节约50%的显影液和去离子水. 改进漂洗机构减少缺陷数目. 和双束流相比，改善了8’’圆片边缘的漂洗质量提高了显影速率的均匀性最多可减少23%的显影时间 6’’、8’’ 圆片