![]() 将86冷板、热板升级为顶针式组件 |
增加模块 增加轨道 将热板,冷板改为顶针式上下圆片 |
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固定的接近式热板 大力矩片架 可编程排风控制器 |
![]() 可编程排风控制器 |
![]() 溶剂式滴胶头防干燥装置 |
废液溢出预警传感器 上下位置可调式滴胶臂 涂胶正面和反面去边胶组件 新型溶剂式滴胶头防干燥装置 |
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胶盘自动清洗装置 Watlow® 温控器升级 圆片传感器升级 |
![]() Watlow®温控器升级 |
![]() 显影温控小车 |
用于处理特别重的非硅材料的组件 温控小车 抽屉式附件安装架 |
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各种压力罐 数字式真空传感器 注射器式滴胶臂 设备的封闭小环境 |
![]() 数字式真空传感器 |
![]() 光刻胶(化学品)液位低传感器 |
液位低传感器 废液溢出预警传感器 胶泵更换或升级 亚微米升级组件 |
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用于不同尺寸圆片的更换组件 Rite Track 程序管理系统 主机通讯系统 |
![]() Rite Track 程序管理系统 |