88e 系列

可选购: 新的或重新制造的

Rite Track 88e 轨道系统，是Rite Track 基于成熟的88系列平台而新设计的具有较大改进的轨道系统。新系统通过改善污染控制，提高可靠性，和加强工艺控制，从而确保系统具有200毫米圆片的处理能力。

Rite Track 88e 轨道系统具有处理100mm到200mm圆片的能力，并能满足0.35微米的工艺要求。

低成本的200mm圆片生产
所有新Rite Track 88e 轨道系统是都是由Rite Track 新设计的。Rite Track 88e 轨道系统将原来就很成功的88系列作了进一步的改进以达到200mm生产要求，同时保持了易修理，可以在100mm到 200mm之间快速变换圆片尺寸等优点。

所有88e模型都是重新设计的，而不是简单的将尺寸放大，以确保200mm生产时的最佳表现。

0. 5微米以下的工艺能力
Rite Track 88e 导轨系统88使用了改进的HMDS模块从而使硅片表面对光刻胶的吸附效果更好。根据空气动力学原理,一次性铸造的胶盘提高了涂布的均匀性.减少了空气污染。所有的热板、冷板都通过专门的设计，提高了它们的精度、效率、和均匀性，从而使得圆片与圆片之间的烘烤和冷却的温度一致性更好，满足了关键工艺步骤的要求。

Rite Track 88e 轨道系统提供了一种世界一流的，价格合理的，涂布、烘烤、以及显影设备。典型的工艺结果都超出了0.35微米工艺的需求。

较低的生产运营成本
改善整体工艺水平只是整个88e轨道的一部分。它的设计同时使得高昂的200mm圆片的生产成本明显降低。功能完善的88e轨道系统的耗费可能只需要同样用于200mm, 0.35微米工艺的其他轨道的一小部分。Rite Track 88e 轨道系统保持了较高产能，较低的圆片传输时间，较少的模块等待时间等优点。

集成的OEM组件
Rite Track 已经和最好的组件OEM公司成为了合作伙伴，其中包括完美的胶泵、温湿度控制器的生产商。将现代化的温湿度控制器，和最先进的胶泵集成到88e中，使得88e在相似的同类产品中的表现脱颖而出。这些OEM包括: Mykrolis, IDI, In tegrated Flow Systems, Semifab, Watlow, 和 SMCUSA。