88 系列

可选购: 新的或重新制造的

配置完整的88 系列是亚微米工艺制造的理想产品。所有88 系列系统都能处理75mm 至150mm的硅片。将88系列轨道从生产某一种尺寸的硅片更换到生产另一种尺寸的硅片也非常简单，只需要几分钟, 而不是几小时。硅，砷化镓（GaAs），蓝宝石，GGG，铌酸锂, 薄膜头，MEMS和许多其它的材料和工艺都能在88 系列轨道系统上进行生产。

88 系列在各个模块之间使用一系列可靠的机机械手来传输硅片。当你进行比较敏感的传送,如软烘烤和冷板之间的硅片传输时，这种模块之间的机械手会比可以在所有模块之间运动的机械手能更好地控制工艺结果。88系列能够提供各种改进的机械手臂，包括陶瓷手臂, 边缘式接触的手臂，带有软垫的手臂等。