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86 系列
可选购: 新的或重新制造的
所有86 系列轨道系统具备处理50
到150mm硅片的能力。将86系列轨道从生产某一种尺寸的硅片更换到生产另一种尺寸的硅片也非常简单，只需要几分钟，而不是几小时。硅，砷化镓（GaAs），蓝宝石，GGG，铌酸锂，薄膜头，MEMS和许多其它的材料和工艺都能在86
系列轨道系统上进行生产。86 系列甚至能够处理125mm 边长(180mm 对角线) 的方形材料。
86 系列用一个简单而又可靠的皮带传送系统以减少硅片破损，这个传送系统的传送时间短,这就使得86系统轨道有很高的产能。